《表2 真空连接管道及密封介质出气率计算》

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《一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术》

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注：*波纹管内表面积按相应内径的直管内表面积的2倍计算；**密封垫厚度按1.5mm计算；***“O”形圈内表面积为总表面积的1/4。

查阅结构部件表面的单位出气率，计算真空连接管道及密封介质出气率Q2、Q3如表2所示。