《表2 真空罐体内部出气的计算值》

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《大型临近空间等离子体真空环境模拟技术研究》


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要求工作真空度:罐体抽真空达到极限真空度后,充入工作气体氩气,能够实现真空度连续可调,当进气量为20~60SLM任意给定值时,工作压力可达到100~1 000Pa范围内任意设定值。按照最大进气量60SLM和100Pa的最低工作压力代入公式(1)进行计算,可知真空获得系统维持工作真空度所需抽速需不小于8 000L/S(3 600m3/h)。