《表1 不同掺杂方式获得样品的晶格畸变值》

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《掺杂方式对FeCo/SiO_2复合薄膜择优取向的影响》

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图5为不同Al掺杂含量的纳米Fe Co/Si O2复合薄膜SEM照片。可以看出，用溶胶-凝胶旋涂工艺获得的薄膜厚度均匀，表面较平整，颗粒分布较均匀，没有出现裂缝和剥落现象。对样品厚度进行SEM表征，用Nano Measurer 1.2软件精确测量可以得出薄膜厚度约为110 nm。