《表2 标准平面相位误差比较(单位:rad)》

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《相移条纹非线性相位误差补偿方法》

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陶瓷标准平面区域数据的实验结果如图4所示，图4（a）为未经过误差补偿的相位恢复结果，图4（b）和图4（c）分别为利用相位误差查找表法和本文方法误差补偿之后陶瓷标准平面相位分布。从中可以看出，经过相位误差查找表法以及本文的方法补偿后，陶瓷标准平面的表面更为光滑，相位精度更高。图4（a）、图4（b）和图4（c）的结果分别与二十步相移计算出的理想相位作差，可以得到各自的非线性误差分布，图4（d）为三种情况下误差剖面分布曲线图，图中红色星划线表示没有过补偿的误差，绿色双划线表示相位误差查找表法补偿的结果，蓝色实线为本文方法补偿的结果，从中可以看出本文方法的补偿精度要略高于相位误差查找表法，具体结果如表2所示。