《表2 原子氧实验前后氮化硼膜表面元素Table 2 Surface elements of BN films before and after AO exposure》

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《羟基化处理对氮化硼膜耐原子氧性能的影响》


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观察两种氮化硼膜表面C1s的分峰结果,发现实验后碳的3种含氧官能团含量均出现不同程度的升高;sp2和sp3碳原子的含量之和在实验后降低,说明NFC骨架中的碳原子与强氧化性的AO发生了反应,导致碳骨架破裂,并生成气态的碳氧化物从薄膜中逸出。