《表2 机械刷洗单元软件功能需求表》

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《CMP设备清洗单元控制软件研究》

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晶圆要以一定速度自转，晶圆旋转由2个伺服电机驱动，速度由旋转传感器进行检测和速度控制。刷子滚动由旋转接头带动滚刷旋转，通入旋转接头的化学液从滚刷中渗出，在滚刷滚动过程中左右摆动2个刷子，并以一定的压力对晶圆双面进行表面接触摩擦刷洗。为了保证更高洁净度，在清洗过程中要配合化学液体喷淋，而且化学液喷射流量要求均匀可控。根据机械刷洗单元的工艺需求，其软件功能需求如表2所示。