《表3 模块划分说明：CMP设备清洗单元控制软件研究》
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根据功能需求，系统采用模块化、多进程并发设计，具体模块划分及功能如表3所示。
| 图表编号 | XD00102689000 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.10.20 |
| 作者 | 张金环、胡孝伟、刘志伟 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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