《表1 兆声清洗单元软件功能需求表》

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《CMP设备清洗单元控制软件研究》

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化学液温度对于清洗效果也至关重要，在回路中设置温控器使温度保持恒定。兆声振板位于清洗槽底部，并与外置兆声发生器连接，通过发生器的激振电路产生兆声波。根据晶圆的特征尺寸以及去除的颗粒大小选择需要的兆声波频率。兆声发生器的功率一般设计为连续可调，用户可根据工艺试验选择合适的功率值。兆声波在其传播方向能量逐渐递减，为了保证晶圆表面清洗的一致性，在槽内设计了晶圆转动机构，使晶圆在清洗过程中保持一定的速度转动。根据兆声清洗单元的工艺需求，其软件功能需求如表1所示。