《表1 低进给率圆形参考轮廓实验数据》

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《基于动态轮廓误差估计的双轴直驱平台精密轮廓控制》

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令f=0.5Hz，对双轴直驱平台伺服系统输入?=20π，rc=20mm的低进给率圆形轮廓，并于1s处对两轴同时施加50N的扰动，实验结果如图5所示，实验数据见表1。由图5和表1可见，动态CEE+CSMC产生的轮廓误差的最大值为1.3μm，并于0.05s处收敛为零，表明动态CEE的性能较好，系统的动态精度更高且响应速度更快；当外加扰动时，动态CEE+CSMC产生的轮廓误差约为0.3μm，表明CSMC具有较强的鲁棒性能。因此，对于低进给率的参考轮廓，动态CEE+CSMC产生的轮廓误差保持在-0.2～1.3μm，能够保证系统具有良好的轮廓精度和较强的鲁棒性能。