《表2 图2a各点的化学成分 (原子分数)》

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《CVD法制备钇改性铝化物涂层及其性能》


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钇改性铝化物涂层试样的截面扫描见图2。由图2a可以看出,涂层为明显的双层结构,外层厚度为45μm左右,扩散层厚度在14μm左右,涂层组织均匀。由图2b~2g可以看出,涂层主要含有Al、Ni、Fe、Cr、Y等元素,Y元素主要分布在外层与扩散层界面附近,涂层外层中Al、Ni的含量较高;而Fe、Cr等基体元素主要分布在内层(扩散层)。为进一步确定涂层中元素含量,对涂层截面进行点扫描,并进行EDS成分分析,选点如图2a所示,扫描结果见表2。点1在外层,Al和Ni元素含量较高,其中Al占38.65%,Ni占43.36%,还检测到Y,其含量为2.57%;点2在外层和内层的分界处,还是以Al和Ni元素为主,Al较外层含量有所降低,而Ni较外层含量有所提高,Y含量很低,剩余的就是少量的Fe、Cr基体元素;点3在扩散层,主要是Fe、Cr、Ni、Mo等基体元素,且没有检测到Al和Y元素。