《表1 图1a各点的化学成分 (原子分数)》

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《CVD法制备钇改性铝化物涂层及其性能》

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单一铝化物涂层试样的截面扫描见图1。由图1a可以看出，涂层为明显的双层结构，外层厚度为35μm左右，扩散层厚度在10μm左右，涂层组织均匀。由图1b~1g可以看出，涂层主要含有Al、Ni、Fe、Cr等元素，涂层外层中Al含量较高，Fe、Cr等元素含量相对内层较少，Ni在内外层的含量都很高，符合高温低活度渗铝规律，即Ni是由基体向外扩散的。为进一步确定涂层中元素含量，对涂层截面进行点扫描，并进行EDS成分分析，选点如图1a所示，扫描结果见表1。点1在外层，Al的含量为29.88%（原子分数，下同），Ni含量为40.98%，还含有少量的Fe、Cr、Nb等基体元素。点2在外层和内层的交界处，Al的含量为24.65%，Ni含量为43.94%，Fe含量为14.23%，Cr含量为14.00%，含有少量Nb元素。点3在内层，未检测到Al元素，说明Al元素主要分布在外层中，内层是扩散层，主要由基体元素组成，如Cr、Fe、Ni和Mo。