《表4 图7中各点的化学成分 (原子分数)》

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《CVD法制备钇改性铝化物涂层及其性能》

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图6为单一铝化物涂层（空冷）热冲击不同次数下的表面照片。图7和表4为（空冷）热冲击试验1 000次后的表面SEM形貌及成分分析。由图6可以看出，空冷处理的热冲击试验1 000次涂层表面没有明显裂纹、剥落、起皮等现象。由图7结合表4可知，涂层局部出现明显颗粒物，主要含有O、Al元素及少量C元素，铝和氧原子分数含量比接近2∶3，可能是Al2O3。