《表6 图13中各点的化学成分 (原子分数)》

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《CVD法制备钇改性铝化物涂层及其性能》

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图12为钇改性铝化物涂层（空冷）热冲击不同试验次数下的表面照片。图13和表6为钇改性铝化物涂层（空冷）热冲击试验1 000次后的SEM形貌及成分分析。由图12可以看出，空冷条件下热冲击试验1 000次涂层表面没有出现裂纹、脱皮、剥落等现象。由图13可以看出涂层表面致密且分布较为均匀。结合表6可知，涂层主要含有O和Al元素，局部的还有Fe和Ni等基体元素，可能是涂层生长过程中渗剂元素与基体之间的互扩散导致。