《表4 第二次密封试验10只样品的漏率值明细表》

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《HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究》

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首先将10只样品放置在HF-4型氦气氟油加压检漏装置中经过517 k Pa、2 h的细检加压，再用氦质谱检漏仪进行细检漏，细检漏的合格判据为R1≤5×10-8atm·cc/s。其中05#样品细检漏的漏率值为4.3×10-4atm·cc/s，密封失效。另外9只样品细检漏的漏率值均不大于5×10-8 atm·cc/s，全部合格，具体的漏率值见表4。