《表2 第一次密封试验10只样品的漏率值明细表》

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《HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究》

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将待检漏的10只样品放置在HF-4型氦气氟油加压检漏装置中经过517 k Pa、2 h的细检加压，再用氦质谱检漏仪进行细检漏，细检漏的合格判据为漏率值R1≤5×10-8atm·cc/s。该10只样品细检漏的漏率值R1≤5×10-8atm·cc/s，全部合格，具体的漏率值见表2。随后再将这10只样品放置在HF-4型氦气氟油加压检漏装置中经414 k Pa、4 h粗检加压后用氟油进行粗检漏，观察到10只样品的任何部位均未发现有气泡产生，粗检漏结果全部合格。由此可排除掉该10只样品在筛选前已经密封失效的可能性。