《光栅计量技术》求取 ⇩

前言1

第一章 什么是计量光栅1

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第二章 光栅的莫尔条纹4

1. 莫尔条纹4

2. 长光栅的莫尔条纹4

3. 圆光栅的莫尔条纹7

4. 光栅的编码10

5. 光栅的误差12

6. 光栅的参数13

1. 光栅测量方案15

第三章 光栅测量的原理15

2. 莫尔条纹测量17

3. 光栅信号的光电特性19

4. 光栅信号的光电计数21

5. 光电信号的反差24

第四章 光栅测量的特点33

1. 位移的放大作用33

2. 误差的平均效应33

3. 运动的对应关系34

4. 易于实现自动控制和自动测量34

1. 光栅细分的目的35

第五章 光栅的电子细分35

2. 光栅细分的原理36

3. 光栅细分的方法36

4. 零位法39

5. 四倍频40

6. 移相电阻链法45

7. 电子细分对光栅信号的要求48

第六章 光栅读数头50

1. 组成50

2. 分类51

3. 形式52

4. 几个问题59

第七章 光栅在精密计量中的应用66

1. 数字式万能比长仪66

2. 数字式光栅分度头69

3. 数字式万能工具显微镜76

4. 齿轮单面啮合检查仪83

第八章 光栅在坐标检测中的应用88

1. 光栅数显表88

2. 三坐标测量机91

第九章 光栅刻制技术96

1. 机械刻划法96

2. 投影光刻法102