《光栅计量技术》求取 ⇩

目录1

第一章 绪论1

第一节 光栅莫尔法概述1

第二节 莫尔技术应用范围6

第三节 莫尔技术的发展历史及应用展望16

第二章 莫尔信息原理26

第一节 概述26

第二节 遮光阴影原理28

第三节 衍射、干涉原理39

第四节 频谱分析原理53

第五节 光栅副间隙及菲涅尔焦面62

第六节 光学滤波69

第三章 莫尔信号检测96

第一节 莫尔信号技术指标96

第二节 莫尔信号反差106

第三节 谐量抑制112

第四节 莫尔信号接收121

第五节 光栅读数头130

第六节 读数头元件设计145

第四章 光栅制造158

第一节 概况158

第二节 刻划法制造光栅159

第三节 光刻法制造光栅165

第四节 光栅检定173

第五节 光栅复制187

第六节 衍射光栅和其他特殊光栅制造法193

第五章 光栅性能处理技术201

第一节 光栅组合花样应用201

第二节 莫尔条纹轮廓推算211

第三节 光栅衍射性能测试214

第四节 光栅透过率函数218

第五节 光栅光密度研究224

第六章 莫尔偏折术和应变测试230

第一节 莫尔偏折术原理230

第二节 莫尔偏折术应用233

第三节 莫尔应变测试原理246

第四节 莫尔应变测试方法253

第一节 长度读出装置261

第七章 长度测量中的应用261

第二节 数字式万能测长系列278

第三节 光栅式双光束干涉仪283

第八章 角度测试和控制298

第一节 光电轴角编码器298

第二节 光电圆刻机311

第三节 传动链测试仪322

第四节 圆光栅误差数字化检测装置333

第九章 光栅调制测形法342

第一节 光栅调制测形原理342

第二节 莫尔形貌法346

第三节 变形光栅形貌法367