《激光在计量测试技术中的应用》

前言1

第一章激光基本原理1

1.1激光的发展1

目录1

1.2激光的特点3

1.3光和物质的相互作用11

1.4光谱线的宽度26

1.5光学谐振腔37

1.6介质对光的增益作用68

第二章激光器和稳频技术91

2.1氦氖激光器91

2.2半导体激光器97

2.3稳频技术105

3.1干涉测长的基本原理131

第三章激光干涉计量技术131

3.2干涉系统主要元件的选择140

3.3激光干涉测量系统155

3.4空气折射率的测量190

3.5应用实例200

第四章激光轮廓测量技术269

4.1偏振干涉仪269

4.2同轴式干涉轮廓仪276

4.3纳水级检测技术286

4.4纳米级定位技术296

第五章 激光在表面粗糙度测量中的应用303

5.1激光散斑技术在表面粗糙度测量中的应用303

5.2激光散射在表面粗糙度中的应用316

5.3激光全息及其在测量表面粗糙度中的应用330