《激光干涉测试技术及应用》

第一章激光干涉理论基础1

第一节 光的干涉理论1

第二节 激光的基础知识15

第三节 激光干涉仪的建立27

第二章激光干涉在长度和位移测量中的应用42

第一节 激光干涉测长中的几个基本问题42

第二节 典型光路布局47

第三节 激光干涉在长度测量中的应用51

第四节 激光干涉在位移测量中的应用53

第五节 激光干涉在尺寸测量中的应用55

第六节 激光干涉在坐标测量中的应用57

第七节 半导体激光干涉在距离测量中的应用58

第三章激光干涉在角度测量中的应用63

第一节 小角度或有限角度的测量方法63

第二节 任意角度的测量方法80

第四章激光干涉在直线度测量中的应用86

第一节 常用激光干涉测量直线度的方法86

第二节 HP5528A双频激光直线度测量系统92

第三节 新型双频激光非接触直线度测量系统95

第一节 渥拉斯顿棱镜型双频激光干涉仪104

第五章激光干涉在表面粗糙度测量中的应用104

第二节 共模抑制干涉仪107

第三节 微分扫描干涉仪112

第四节 利用相移技术的干涉仪113

第六章激光全息干涉计量技术120

第一节 全息术的基本原理与实验技术120

第二节 全息干涉计量技术126

第三节 计算全息技术129

第四节 全息干涉技术的应用131

第五节 激光散斑干涉技术134

第二节 激光干涉在介质折射率测量中的应用140

第七章激光干涉在各种机械量及其它参量测量中的应用140

第一节 激光干涉在微振动测量中的应用140

第二节 激光干涉在重力加速度绝对测量中的应用142

第四节 激光干涉在精密定位中的应用143

第五节 激光干涉在转速测量中的应用144

第六节 激光干涉在光学系统准直方面的应用147

第七节 激光干涉在瞬态过程测量中的应用150

第八章提高激光干涉仪测量准确度的方法152

第一节 影响测量准确度的误差因素152

第二节 提高测量准确度的方法179

参考文献188