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第一章绪论1

1.1 激光干涉测量原理1

1.2 半导体激光干涉同其他光干涉的比较5

1.3 半导体激光干涉技术的分类8

参考文献12

第二章 半导体激光调制相干理论15

2.1 LD的调制理论15

2.2 频率调制LD的相干原理33

2.3 LD的调制驱动方法40

参考文献46

第三章 影响干涉的半导体激光器特性48

3.1 LD温度特性及控制方法48

3.2 LD输出光束特性和改善方法55

3.3 LD的稳频特性及稳频方法61

参考文献68

第四章 线性调制干涉70

4.1 线性调制LD外差干涉技术70

4.2 参考技术73

4.3 傅里叶变换技术处理干涉信号76

4.4 多光束干涉技术79

参考文献103

第五章 正弦调制干涉105

5.1 声光调制准外差LD干涉技术105

5.2 压电陶瓷驱动准外差调制干涉技术118

5.3 波长偏移外差LD干涉技术136

5.4 双相位调制外差LD干涉技术141

5.5 正弦调制外差干涉表面轮廓测量147

参考文献156

第六章 多波长干涉157

6.1小数条纹确定长度的基本原理157

6.2 小数重合法外差干涉技术159

6.3 双波长合成波长干涉166

6.4 LD双波长合成波长稳定性分析172

6.5 多模LD的三波长干涉技术181

参考文献187

第七章 外腔谐振干涉189

7.1 单模LD外腔谐振测量方法189

7.2 双LD外腔谐振测量方法193

7.3 多模LD外腔谐振测量方法201

参考文献210

第八章 全息光栅干涉211

8.1 全息光栅干涉位移测量原理211

8.2 全息光栅干涉型触针传感原理218

参考文献228

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