《激光技术在集成电路中的应用概况》求取 ⇩

作者	第四机械工业部技术情报研究所编辑编者
出版	第四机械工业部技术情报研究所
参考页数	68 ✅ 真实服务非骗流量 ❤️
出版时间	1979（求助前请核对）目录预览
ISBN号	无 — 违规投诉 / 求助条款
PDF编号	85396648（学习资料勿作它用）
求助格式	扫描PDF（若分多册发行，每次仅能受理1册）

激光技术在集成电路中的应用概况 1979 PDF电子版封面第四机械工业部技术情报研究所编辑

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新光学技术在集成电路中的应用1

1.序言1

2.利用激光制作掩模图形4

3.多重成象6

4.焦点自动迭合10

5.激光加工14

6.硅片平面度的测量17

7.直线对准器19

8.半接触复印22

9.采用反射镜系统的复印法25

10.全息复印27

11.特殊成象光学系统31

12.软X射线复印34

13.电子束复印37

14.外延层厚度的测量40

15.用激光扫描法检查集成电路43

16.集成电路掩模缺陷的检查46

17.电子束图形产生方法53

激光在集成电路测量中的应用53

1.引言58

2.集成电路掩模图形尺寸的测量58

3.定位对准61

4.集成电路掩模缺陷的测量62

5.在半导体圆片检验中的应用66

6.结束语67

1979《激光技术在集成电路中的应用概况》由于是年代较久的资料都绝版了，几乎不可能购买到实物。如果大家为了学习确实需要，可向博主求助其电子版PDF文件（由第四机械工业部技术情报研究所编辑 1979 第四机械工业部技术情报研究所出版的版本）。对合法合规的求助，我会当即受理并将下载地址发送给你。

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