《激光技术在集成电路中的应用概况》
| 作者 | 第四机械工业部技术情报研究所编辑 编者 |
|---|---|
| 出版 | 第四机械工业部技术情报研究所 |
| 参考页数 | 68 |
| 出版时间 | 1979（求助前请核对） 目录预览 |
| ISBN号 | 无 — 求助条款 |
| PDF编号 | 85396648（仅供预览，未存储实际文件） |
| 求助格式 | 扫描PDF（若分多册发行，每次仅能受理1册） |
新光学技术在集成电路中的应用1
1.序言1
2.利用激光制作掩模图形4
3.多重成象6
4.焦点自动迭合10
5.激光加工14
6.硅片平面度的测量17
7.直线对准器19
8.半接触复印22
9.采用反射镜系统的复印法25
10.全息复印27
11.特殊成象光学系统31
12.软X射线复印34
13.电子束复印37
14.外延层厚度的测量40
15.用激光扫描法检查集成电路43
16.集成电路掩模缺陷的检查46
17.电子束图形产生方法53
激光在集成电路测量中的应用53
1.引言58
2.集成电路掩模图形尺寸的测量58
3.定位对准61
4.集成电路掩模缺陷的测量62
5.在半导体圆片检验中的应用66
6.结束语67
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