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目录1

第一章 绪论1

1.1 光栅莫尔技术的发展简史1

1.2 光栅莫尔技术的应用3

1.3 光栅莫尔技术的动向7

1.4 推广数字显示技术的效益8

第二章 光栅测量原理10

2.1 粗光栅测量原理10

2.2 细光栅测量原理13

2.3 光栅测量的特点18

2.4 莫尔条纹的类型19

2.5 莫尔条纹的选用29

第三章 光栅测量的光学系统30

3.1 菲涅耳系统33

3.2 夫琅和费系统36

3.3 镜象式光学系统46

3.4 反射式光学系统50

3.5 粗—细光栅组合系统50

3.6 空间滤波光学倍频系统53

3.7 光学系统的要求66

第四章 莫尔信号的电子学细分90

4.1 引言90

4.2 电阻链细分91

4.3 莫尔条纹乘法倍频95

4.4 位相跟踪细分电路设计100

4.5 载波调制细分106

4.6 莫尔信号的数字鉴相技术111

第五章 光栅数字显示装置的元器件119

5.1 计量光栅120

5.2 光电接收元件157

5.3 光源171

第六章 数字式位置测量系统181

6.1 数字式长度测量系统181

6.2 轴角编码器198

6.3 轴角编码器的应用和展望216

第七章 角度测量和控制223

7.1 精密测角技术223

7.2 光栅技术在圆刻机和检测仪中的应用243

7.3 光栅式经纬仪259

7.4 机床传动链测试268

第八章 光栅数字显示技术在计量仪器中的应用280

8.1 数显型和微机型万能工具显微镜280

8.2 数字显示立式光学计296

8.3 数字式万能测长仪308

8.4 二坐标和三坐标测量机332

参考文献347

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