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目录1

第一章 导论1

1-1电子探针X射线显微分析仪的一般原理1

1-2电子探针X射线显微分析的发展简史5

1-3国外电子探针X射线显微分析仪的主要性能简介9

1-4电子探针X射线显微分析的进展和展望18

第二章 电子光学及线路33

2-1真空室33

2-2电子枪34

2-3电子束形成的两种原理35

2-4成像法电子光学36

2-5压缩电子束（反聚焦）法的电子光学41

2-6电子透镜的像差41

2-7像散43

2-8球面像差43

2-9慧形像差45

2-10柱体的调整46

2-11电子束流50

2-12电子线路51

第三章 X射线晶体光学53

3-1晶体衍射法的原理53

3-2影响衍射的晶体参数54

3-3常用的衍射晶体57

3-4弯晶光学60

3-5圆柱形光学的垂直发散63

3-6非磨制晶体66

3-7半聚焦光学67

3-8特征X射线强度和峰值／本底比69

第四章 X射线探测器与能谱分析75

4-1X射线探测器75

4-2X射线能谱77

4-3两种方法的结合应用83

4-4电子线路84

第五章 定量分析的物理基础87

5-1定量分析中非线性因素88

5-2电子在固体中的散射89

5-3原子序数效应91

5-4吸收效应更正97

5-5原子序数效应和吸收效应的相互关系103

5-6G．D．阿尔恰德的计算法105

5-7荧光效应112

5-8L．S．伯克斯的近似校正116

第六章 样品类型和制备129

6-1制备样品须注意的一些问题129

6-2矿物、矿石、岩石样品的制备133

6-3金属材料样品的制备134

6-4生物样品的制备136

第七章 样品观察和分析程序138

7-1对样品进行电子探针分析的步骤138

7-2定性分析和扫描图像的观察138

7-3定量分析145

7-4数据处理145

第八章 定量分析及有关问题152

8-1相似于样品的标准样152

8-2未知样品的分析及计算153

8-3特征X射线强度163

8-4峰值／本底比166

8-5荧光效应169

8-6用背散射和吸收电子作定量分析170

第九章 应用举例173

9-1铂族矿物的分析173

9-2硫化物的分析174

9-3矿物的环带结构176

9-4电子元件的分析178

9-5金属夹杂物的分析178

9-6薄膜的厚度及其组成179

9-7其他方面的应用181

附录195

附录Ⅰ 激发效率195

附录Ⅱ 强度函数（F）201

附录Ⅲ 质量吸收系数214

附录ⅣX 射线临界吸收和发射能量表252

附录Ⅴ-1 特征X射线波长表256

附录Ⅴ-2X 射线光谱的主要发射谱线表260

附录Ⅵ 原子序数校正因子（Pz）262