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目录1

前言1

第一章 导论1

1.1 微束分析技术及其发展历史1

1.1.1 电子微束分析仪器和技术1

1.1.2 离子探针5

1.1.3 激光探针及质子探针7

1.2 微束分析技术的进展和发展趋势8

1.2.1 微束分析技术的进展8

1.2.2 微束分析技术的发展趋势12

1.3 电子探针分析的基本原理和特点14

1.3.1 电子探针分析的基本原理和基本方式14

1.3.2 电子探针等微束分析技术的特点17

第二章 电子探针分析的物理基础23

2.1 电子与固体的相互作用23

2.1.1 X射线和俄歇电子23

2.1.2 背散射电子28

2.1.3 二次电子30

2.1.4 吸收电子、透射电子和阴极荧光32

2.2 X射线的衍射34

2.3 X射线的吸收和二次X射线36

2.3.1 X射线的吸收36

2.3.2 二次X射线（X射线荧光）38

2.4 X射线信息源的形状和大小39

2.5 扫描成象43

2.5.1 概述43

2.5.2 扫描成象的基本原理44

2.5.3 与成象质量有关的几个问题48

第三章 仪器56

3.1 电子光学系统56

3.1.1 电子枪56

3.1.2 电磁透镜和扫描偏转线圈60

3.1.3 电子光学系统的调整和合轴65

3.2 X射线波长色散谱仪65

3.2.1 半聚焦谱仪、全聚焦谱仪和分光晶体66

3.2.2 波谱仪的结构和原理69

3.2.3 计数管和计数管电路70

3.3 X射线能谱仪74

3.3.1 X射线探测器74

3.3.2 电子学线路76

3.4 光学观察系统77

3.5 样品室78

3.6 电子讯子探测系统78

3.6.1 二次电子、背反射电子探测器78

3.6.2 图象显示系统79

3.7 真空系统80

3.8 计算机与自动化分析81

第四章 样品制备85

4.1 电子探针样品的基本要求85

4.2 电子探针样品的制备86

4.2.1 定量分析样品的制备方法86

4.2.2 形态分析样品的制备方法95

4.3 分析前样品的观察研究98

4.4 镀膜99

5.1 能谱定性分析105

第五章 定性分析105

5.2 波谱定性分析112

5.3 波长分光法与能量色散法的比较118

第六章 电子探针定量分析修正计算121

6.1 定量分析数据的预处理121

6.1.1 背景修正121

6.1.2 死时间修正123

6.1.3 谱线干扰修正125

6.2 ZAF修正概述129

6.2.1 原子序数修正131

6.2.2 X射线吸收修正136

6.2.3 荧光修正140

6.3 定量修正计算实例145

6.4 定量修正的计算机程序149

第七章 定量分析中的某些问题159

7.1 定量测定159

7.1.1 工作电压的选择160

7.1.2 束流监测与束流大小的选择161

7.1.3 束斑大小的调节162

7.1.4 分光晶体的选用163

7.1.5 脉冲高度分析器的准确使用165

7.1.6 计数值的考虑166

7.1.7 分析位置的确定168

7.1.8 背景测量169

7.1.9 分析线的选择172

7.2 各类矿物的定量分析173

7.2.1 硅酸盐及其他含氧矿物的分析173

7.2.2 硫化物及硫盐的定量分析178

7.2.3 含碱金属的矿物和玻璃的分析184

7.3 定量分析的质量控制193

第八章 特殊分析技术199

8.1 超轻元素分析199

8.2 微量元素分析208

8.3 颗粒样品或糙面样品的分析212

8.4 薄膜和薄层样品的分析223

第九章 标样研制240

9.1 标样的分类240

9.2 标样研制现状241

9.3 标样的收集及其研制246

第十章 仪器操作及分析流程255

10.1 JCXA-733电子探针255

10.2 EPM-810Q电子探针290

10.3 CAMEBAX——MICRO电子探针316

10.4 SEM—501B扫描电镜338

10.5 EMX—SM7电子探针349

10.6 JSM—35CF扫描电镜365

10.7 ISI60A扫描电镜374

附录388

附录1 元素谱线的波长、能量和临界激发能量388

附录2 地矿部电子探针标样技术数据392

附录3 矿物电子探针分析结果中Fe3+和Fe2+的计算400

附录4 常用镀膜材料的物理特性404

附录5 端员氧化物中元素重量百分比及其电价405

附录6 α因子表及α因子经验修正计算实例406

附录7 常见硫化物的δ因子表422

附录8 常见矿物化学成分及平均原子序数426

附录9 国外某些电子探针仪主要性能比较表445