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第一章 绪论1

1.1 引言1

1.2 电子探针仪的功能2

1.3 电子探针仪的构造3

1.4 电子探针分析方法的优缺点6

1.5 电子探针分析发展史9

参考文献11

第二章 电子探针仪12

2.1 电子光学系统12

2.2 样品室40

2.3 光学及电子光学观察系统43

2.4 X光谱仪54

2.5 电子探针用充气X光探测器85

2.6 X光强度的测量计数系统95

2.7 仪器的其它辅助系统98

2.8 电子光学系统的统调和合轴102

参考文献110

第三章 电子与靶极的交互作用113

3.1 概述113

3.2 入射电子的散射114

3.3 电子在靶极中的能量损失规律129

3.4 电子束轰击试样时的电子发射现象141

3.5 电子束透过靶极时强度的衰减152

3.6 入射电子的热效应和靶极的散热问题153

3.7 阴极发光现象157

3.8 结晶体对电子的衍射现象158

参考文献160

第四章 X光物理基础163

4.1 Rutherford-Bohr 原子模型163

4.2 特征X光的产生168

4.3 连续谱X光的产生204

4.4 X射线的空间分布211

4.5 X光与物质的交互作用214

参考文献238

第五章 定性分析241

5.1 定性分析方法要领241

5.2 定性分析的实验技巧247

参考文献249

6.1 试样制备250

第六章 定量分析250

6.2 标样253

6.3 分析操作254

6.4 定量分析数据的预处理257

6.5 为何要修正和两条修正途径259

6.6 边界条件262

6.7 电子探针定量分析计量单位的探讨263

参考文献264

第七章 常用的经验修正方法265

7.1 Ziebold 和 Ogilvie 方法265

7.2 Bence 和 Albee 法以及 Gupta 的改进269

7.3 δ系数法和影响系数法280

参考文献284

第八章 ZAF 修正方法285

8.1 原子序数修正285

8.2 吸收修正316

8.3 荧光修正369

8.4 其它414

参考文献416

9.2 迭代的方法421

第九章 迭代和数据复原程序的结构421

9.1 为什么要作迭代421

9.3 数据复原程序结构429

参考文献433

第十章 特种边界条件下的分析435

10.1 不满足厚度半无限条件下的薄膜分析435

10.2 不满足宽度无限条件下的成分分析479

参考文献492

11.1 键合状态的影响495

第十一章 影响定量分析准确度的一些次要因素495

11.2 取向效应497

11.3 环境温度的影响498

11.4 电子束轰击下成分的改变499

参考文献499

第十二章 测量的理论精度和修正计算中误差的传播502

12.1 测量能达到的最大理论精度502

12.2 通过修正计算引起的误差传播507

参考文献510

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