《直线度平面度测量技术》

第一章导论1

一 引言1

二 有关术语1

三 直线度、平面度公差3

四 形状误差评定准则及评定方法6

五 平面度计量器具国家计量检定系统10

第二章直线度测量11

第1节 测量基准11

第2节无直线基准测量法12

一 多面互检法12

二 误差分离法18

第3节有直线基准测量法25

一 实体直线基准测量法25

二 重力基准测量法43

三 光线基准测量法50

四 光线基准干涉法72

五 物理光学法79

第4节双频激光直线度测量装置机理及误差分析82

一 渥拉斯顿棱镜作用原理82

二 激光束漂移对测量的影响89

三 渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量的影响103

四 双面反射镜平面度误差对测量的影响104

五 结论104

第5节各种直线度测量方法的特点及直线度测量原则105

一 各种直线度测量方法的特点105

二 直线度测量原则108

第三章直线度误差的评定方法及其测量不确定度112

第1节采样点读数值的归一处理112

一 采样点的读数值和偏差值112

二 采样点读数值的归一处理113

第2节直线度误差的评定方法116

一 两端点联线法117

二 最小二乘法122

三 最小包容区域法(最小条件法)122

第3节最小条件法评定直线度误差的计算机精确算法125

一 构造包容线法125

二 构造凸多边形法126

第4节直线度误差的测量不确定度132

一 各采样点读数值直接作用时直线度误差的测量不确定度132

二 各采样点读数值非直接作用时直线度误差的测量不确定度138

第四章平面度测量142

第1节小平面平面度测量142

一 平面平晶法测量142

二 等厚干涉仪测量143

三 高精度光学基准平面的测量144

第2节大平面平面度测量150

一 水平仪、自准直仪法151

二 标准平板打表法155

三 光线扫描法156

四 液面法159

第五章平面度误差的评定方法及其测量不确定度162

第1节采样点读数值的归一处理162

一 水平仪测量方形网格布线读数值归一处理162

二 自准直仪测量网格——对角线布线读数值归一处理164

第2节平面度误差的评定方法171

一 对角线评定法171

二 最小条件评定法171

三 计算机近似评定法174

四 最小条件计算机精确算法175

第3节最小条件法评定平面度误差的计算机精确算法——分区排序交叉判别法175

一 方法原理要点175

二 程序流程及步骤188

三 计算例题190

第4节平面度误差的测量不确定度192

一 按三角形准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析192

二 按交叉准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析194

三 按直线准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析196

四 平面度测量中两种布线形式的采样点偏差值的测量不确定度198

附录211

参考文献225