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第一章 表面粗糙度的基本概念1

一、零件的几何精度1

(一) 尺寸精度1

(二) 形状精度1

(三) 位置精度2

二、表面粗糙度对零、部件使用性能的影响3

(一) 对摩擦磨损的影响3

(二) 对机器和仪器工作精度的影响4

(三) 对配合性质的影响4

(四) 对零件强度的影响5

(五) 对抗腐蚀性的影响5

三、表面粗糙度的评定基准5

(一) 中线制(M制)6

(三) 取样长度l8

(二) 包络线制(E制)8

(四) 评定长度ln9

四、表面粗糙度的评定参数9

(一) 与微观不平度高度有关的参数10

(二) 与微观不平度间距有关的参数14

(三) 与微观不平度形状有关的参数16

(四) 其它参数20

(五) 各评定参数之间的关系24

五、表面粗糙度国家标准的特点和应用分析27

(一) GB3505--83《表面粗糙度 术语 表面及其参数》27

(二) GB1031--83《表面粗糙度 参数及其数值》28

(三) GB131--83《机械制图 表面粗糙度代号及其标注》34

六、表面粗糙度测量方法分类38

(一) 与粗糙度标准样板进行比较的比较法38

(二) 在某一区域内作定量综合检验40

(三) 在某一截面内作定量检验41

(一) 测量方向42

七、表面粗糙度测量的基本原则42

(二) 测量部位44

(三) 表面缺陷44

第二章 光切法测量表面粗糙度45

一、光切法原理45

二、光切显微镜原理48

三、光切显微镜的光学系统50

(一) 光切显微镜的鉴别率与测量范围53

(二) 物镜的放大倍率56

(三) 弯曲狭缝光栏的作用57

(四) 平行玻璃板58

四、光切显微镜的结构原理59

(一) 壳体61

(二) 测微目镜头61

五、光切显微镜的调整与使用62

(一) 光切显微镜的调整62

(三) 升降微动机构62

(二) 物镜放大倍数的标定66

(三) 仪器常数C的确定68

六、表面粗糙度的测量和评定71

(一) 微观不平度高度参数的测量和计算71

(二) 微观不平度间距参数的测量和计算78

七、照相法评定表面粗糙度80

(一) 照相操作方法80

(二) 照相法评定表面粗糙度81

八、几种常见表面粗糙度的测量82

(一) 圆柱表面粗糙度的测量82

(二) 圆锥表面粗糙度的测量83

(三) 球形表面粗糙度的测量83

九、测量误差的分析与计算84

第三章 干涉法测量表面粗糙度91

一、光波干涉原理91

(一) 干涉显微镜工作原理95

二、干涉显微镜工作原理与结构95

(二) 干涉显微镜的结构103

三、干涉显微镜的调整与使用114

(一) 干涉条纹的调整114

(二) 干涉条纹清晰度的调整116

(三) 狭缝目镜头的使用123

四、用干涉显微镜测量表面粗糙度129

(一) 光波波长值的取用130

(二) 测微目镜的对线法131

(三) 测量干涉条纹的宽度131

(四) 测量微观不平度132

(五) 用目视估计法测量表面微观不平度134

(六) 照相法测量表面粗糙度135

(七) 几种常见表面粗糙度的测量136

(一) 干涉滤光片波长值的影响140

(二) 数值孔径的影响140

五、干涉显微镜的精度分析140

(三) 物镜鉴别率的影响142

(四) 测微目镜的机构误差144

(五) 瞄准误差144

第四章 针描法测量表面粗糙度147

一、针描法原理147

二、电动轮廓仪的工作原理与分类153

(一) 电动轮廓仪工作原理153

(二) 电动轮廓仪的分类154

三、电感式轮廓仪156

(一) 主要结构156

(二) 电路简介160

(三) 仪器的操作与使用173

四、其他形式轮廓仪179

(一) 泰勒塞夫3型轮廓仪179

(二) BCJ-2型轮廓仪184

(三) 感应式轮廓仪188

(四) 压电式轮廓仪191

(五) 泰勒塞夫5型轮廓仪194

五、用轮廓仪测量表面粗糙度的步骤196

(一) 准备工作196

(二) 测量Ra值的方法197

(三) 测量Rz值的方法202

(四) 测量计算Sm和S的方法202

(五) 测量Ry值的方法203

(六) 轮廓支承长度率tp的测量203

(七) 几种形状表面粗糙度的测量205

第五章 表面波纹度及其测量213

一、表面波纹度的概念213

二、表面波纹度与粗糙度及形状误差的分离214

(一) 滚圆式滤波214

(二) 电气截止式滤波220

三、表面波纹度的评定参数222

(三) 几何滤波法222

(一) 幅值参数223

(二) 间距参数226

(三) 综合参数227

四、表面波纹度的测量228

(一) 平面波纹度的测量228

(二) 圆形表面波纹度的测量232

(三) 齿轮螺旋线波纹度误差的测量237

第六章 新技术在表面粗糙度测量中的应用241

一、激光散斑技术在表面粗糙度测量中的应用241

(一) 激光散斑242

(二) 测量表面粗糙度的激光散斑技术245

二、全息干涉技术在表面粗糙度测量中的应用267

三、电子光学技术在表面粗糙度测量中的应用269

四、光外差干涉法测量表面粗糙度273

五、用计算机辅助测量表面粗糙度276

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