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前言页1

一、真空常识1

(一) 大气与真空1

(二) 真空量度单位5

(三) 真空环境的特点6

(四) 真空技术的应用9

二、怎样得到真空47

(一) 获得真空的基本方法47

(二) 什么是真空泵50

(三) 气体传输泵52

(四) 气体捕集泵66

三、如何测量真空76

(一) 测量真空度的基本方法76

(二) U型管真空计78

(三) 麦氏计78

(四) 热偶真空计及其使用与维护81

(五) 电离真空计及其使用与维护82

(六) B-A真空计及其维护85

(七) 使用规管时应注意的事项87

(一) 何为真空系统92

四、真空系统操作与维护92

(二) 油扩散泵真空系统97

(三) 溅射离子泵--钛升华泵真空系统108

五、真空系统的简单计算114

(一) 真空管路的流导114

(二) 真空装置极限真空及工作压强122

(三) 怎样计算真空泵的抽速126

(四) 抽气时间的计算128

(一) 漏气对真空设备的影响130

六、漏气现象130

(二) 漏孔表示方法及真空装置的允许漏率132

(三) 易漏气部位133

(四) 常用检漏方法135

(五) 堵漏143

七、真空装置的清洁处理145

(一) 真空元件为什么要作清洁处理145

(二) 清洁真空零件的方法146

(三) 特殊清洁处理方法150

(四) 清洗实例153