本书主要内容包括理论知识、实践应用、案例分析、英文材料阅读四个部分。理论知识部分阐述了微电子工艺理论及其与前置理论课程的理论关系；实践应用部分主要讲述了与理论相关的设备原理；案例分析部分针对理论知识选用了简单的器件案例，描述了案例采用的实验方法和计算机仿真方法；英文材料阅读部分针对实际工作进行了专业英语教育，一般由5-10句英文短句构成。

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