本书是关于MEMS可靠性的一本专著,主要内容包括:用于寿命预测的可靠性统计理论,MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式,MEMS在使用中的失效模式,MEMS的失效根源及分析,MEMS的试验和鉴定标准,以及提升MEMS可靠性的工具和技术。本书的几位作者在MEMS可靠性方面拥有多年的学术研究经验和工业生产经验,内容具有较高的参考价值。

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