《微纳尺度制造工程》高清PDF
作者:(美)斯蒂芬·A·坎贝尔著
出版:北京:电子工业出版社
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出版时间:2011.05 (求助前请核对清楚)
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《微纳尺度制造工程 英文版》高清PDF下载 (美)坎贝尔著 2010.09
《微电子制造科学原理与工程技术》高清PDF下载 (美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著 2003.04
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《集成电路设计技术》高清PDF下载 高勇,乔世杰,陈曦编著 2011.07
《微电子概论》高清PDF下载 郝跃,贾新章,董刚等编著 2011.06
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《集成电路制程设计与工艺仿真》高清PDF下载 刘睿强,袁勇,林涛编著 2011.03
《数字与片上系统设计教程》高清PDF下载 何宾编著 2010.07
本书是《微电子制造科学原理与工程技术》的第三版。本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺,不仅介绍了它的物理和化学原理,还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书新增加的内容包括原子层淀积、电镀铜、浸润式光刻、纳米压印与软光刻、薄膜器件、有机发光二极管以及应变技术在CMOS工艺中的应用等。
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