本书是面向微电子及相关专业的试验教程，以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和试验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础试验，详细阐述各项单步工艺的试验原理、试验设备、试验方法和步骤。第3章介绍微电子……

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