《微米纳米器件设计》高清PDF
作者:黄庆安,周再发,宋竞著
出版:北京:国防工业出版社
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出版时间:2014.12 (求助前请核对清楚)
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本书是MEMS设计的专著,主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。在器件级设计中,介绍微传感器和微执行器的工作原理,偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元网格划分、算法及后处理方法;在系统级设计中介绍MEMS系统级建模方法,例如接点分析法等效电路法、VHDL等;在MEMS工艺模型中,介绍主要加工方法如硅各向异性腐蚀、DRIE、UV-LIGA等工艺模型及相关算法(元胞自动机、线算法等)……
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