本书是作者多年科研成果的总结以及对本领域研究心得体会的凝练，并非是一本教材性质的书籍，而是一本综合而成的具有新理论、新发展、新技术的微纳科学参考用书。除了对微纳系统技术的基础理论和方法的讲述之外，还深入探讨了这一领域内一些热点研究方向的最新科研成果，例如MEMS空间光调制器（MOEMS）、SPR纳米金属离子传感器、光子塞透镜、气体传感器（BioMEMS&NEMS）等等，许多研究和成果都是原创性的，并获得了一定积极评价的。期望这样的探讨能够有助于读者了解微米纳米科技的发展前沿。同时，为了有针对性地解决本领域

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