微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。