《微电子工艺基础》高清PDF
作者:李薇薇,王胜利,刘玉岭编著
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2007.01 (求助前请核对清楚)
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本书共分10章,前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关的物理、化学知识、第4章至第10章是全书重点,介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。
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