《微电子制造科学原理与工程技术》高清PDF
作者:(美)Stephen A. Campbell著;曾莹等译
出版:北京:电子工业出版社
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《微纳尺度制造工程》高清PDF下载 (美)斯蒂芬·A·坎贝尔著 2011.05
《电子封装的密封性》高清PDF下载 (美)格林豪斯著;刘晓晖等译 2011.01
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国外电子与通信教材系列:本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气象外延生长、溅射和化学气相淀积等。
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