《微机电系统集成与封装技术基础》高清PDF
作者:娄文忠,孙运强编著
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2007.03 (求助前请核对清楚)
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本书叙述了微机电系统集成设计与封装技术的概念、体系结构、典型系统、所用的先进技术以及未来的发展趋势。
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