《集成电路工艺中的化学品》高清PDF
作者:戴猷元,张瑾编
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2007.03 (求助前请核对清楚)
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本书系统提供了集成电路制造过程中用到的化学品的使用性能、毒性及安全等方面的信息。内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品等。
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