全书共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍MEMS在线测试技术，第六章介绍几种典型的微米纳米器件测试技术。

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