《表4 球心在验证点位置的传感器感应电压》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《非接触式R-test测量仪的现场标定方法研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

V

为了验证测量仪的标定精度，在测量仪的测量空间内采用相同方式移动测量球球心到3个不同的位置，并进行计算坐标与实际坐标对比。传感器感应电压如表4所示，实际和计算坐标如表5所示，在1.5 mm的测量行程（允许测量球移动的最大位移）内，最大坐标误差为0.39μm/1.5 mm。与IBS等厂家生产的接触式R-test测量仪1.5μm/3.5 mm的测量精度相比，0.39μm/1.5mm完全能满足测量仪的测量精度要求。