《表4 Micro Embedded Device Server Profile》

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《OPC UA Server性能等级划分及最小功能集研究》

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Micro Embedded Device Server同样定位于资源受限的物理设备，但相比Nano Embedded Device Server级别要高，它包含前一等级所有功能，另外增加了订阅服务、监视服务，需要至少支持2个会话。功能性能总表见表4，更详细的描述请参阅OPC UA标准第7部分。