《表1 条形栅和华夫饼功率管的阈值电压随辐射剂量的变化关系》
表1为条形栅功率管和华夫饼功率管的阈值电压随辐射剂量的变化关系,可以明显看到,两者的阈值电压都随总剂量辐射的累积而降低。N型条形栅功率管在辐照前的Uth为0.62 V,累积600 krad(Si)的辐射后Uth降低为0.57 V,负向漂移了7.1%,因为该工艺下栅氧化层较薄,在辐射的作用下不易俘获陷阱电荷,故阈值电压漂移未特别严重。从表中可以看出,华夫饼功率管和条形栅功率管的情况非常接近,华夫饼结构对总剂量辐射下的阈值电压漂移无明显改善。
图表编号 | XD0096875100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.08.25 |
作者 | 周枭、罗萍、何林彦、肖天成 |
绘制单位 | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室、电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室、电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室、电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
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