《表4 几种SiC纳米线制备方法的比较》

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《SiC纳米线研究进展及其应用现状》


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表4为3种Si C纳米线制备方法的比较,可以看出CVD法生长的Si C纳米线长径比小、结晶率高,但产率较低、工艺过程复杂、可控性差。碳热还原法和溶胶-凝胶法制备Si C纳米线,具有产率高、成本低、工艺选择性多等优势,但碳热还原法制备的纳米线杂质较多,溶胶-凝胶法制备的纳米线易产生缺陷。目前针对Si C纳米线的制备工艺、微观结构、生长机理以及性能等方面的研究还需要继续深入,力求在未来能够实现对Si C纳米线生长的多尺度调控。