《表1 固有频率(Hz)：二维微动工作台设计及仿真分析》

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《二维微动工作台设计及仿真分析》

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利用ANSYS软件对二维微动工作台进行模态分析，获得其前6阶模态，各阶固有频率如表1所示。二维微动工作台的各阶固有频率都远小于压电驱动器的共振频率27 kHz，远离共振点，所以不会产生共振，符合设计要求。