《表2 模块工艺参数：过渡层厚度对Be/CuCrZr热等静压连接性能影响》

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《过渡层厚度对Be/CuCrZr热等静压连接性能影响》

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为符合第一壁手指实际情况，本实验模块采用与手指类似的结构，如图1所示。铍（Be）块尺寸规格为51mm×12mm×6mm，在经过酸洗、碱液中和、去离子水漂洗后，通过物理气相沉积（PVD）的方式在Be上先后镀Ti、Cu，再分别添加不同厚度的无氧铜垫片，与Cu Cr Zr/316L（N）复合板基座封装于铁包套内，抽真空并使用氦质谱仪检漏，夹封后使用热等静压机制成模块，参数列于表2中。