《表6 试验样品环境试验(一)》

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《厚膜混合集成电路粘接工艺研究》


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将上述制备的工艺样品按照表6、表7方案进行环境试验,每组试验后测试粘接电容端头接触电阻并记录保存,并在超景深显微镜下观察粘接形貌拍照保存。所有试验完成后进行芯片剪切强度试验,对比不同导电胶粘接质量。