《表1 最优添加剂浓度下的平行试验结果》
综上可知,较优的添加剂组合为:Cl-60 mg/L,SPS 8 mg/L,PEG-10000 250 mg/L,2-PDS 13 mg/L。将该组合添加剂加入基础镀液中,进行3次平行试验,结果见表1。在该组合添加剂的协同作用下,实现了通孔电镀铜的完美填充,且平均填孔率和凹陷值分别为91.7%和13.6μm,满足工业生产要求。
图表编号 | XD0085515500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.08.15 |
作者 | 王旭、张胜涛、陈世金、郭海亮、罗佳玉、文亚男、郭茂桂、许伟廉 |
绘制单位 | 重庆大学化学化工学院、重庆大学化学化工学院、博敏电子股份有限公司、重庆大学化学化工学院、电子科技大学材料与能源学院、重庆大学化学化工学院、博敏电子股份有限公司、博敏电子股份有限公司 |
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