《表1 1μm步距的微运动定位性能》

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《高速宏微运动平台及精密定位方法》

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从表1实验数据可看出，微运动定位的振幅在50nm以内，具有高精度的特性，并且经过多次的定位实验，该微运动在PID的控制下，都可在55 ms的时间内实现33 nm的定位精度，具备高速稳定的性能。