《表1 FIB-TOF-SIMS与EDS和WDS的性能对比》

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《FIB-TOF-SIMS联用技术在矿物学研究中的应用》

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C（compact）-TOF的质量分辨率和纵向空间分辨率分别为800和3 nm，在Ga+离子源下的横向空间分辨率为40 nm，检出限为3×10-6。应用该套联用技术，可以分析包含H等轻元素及其同位素，可分析阳离子和阴离子，元素检出限可低至10-6；基于FIB的切割功能，还可进行元素及其同位素的二维面分析和三维成像。FIB-TOF-SIMS联用系统，可弥补X射线能谱和波谱不能分析H、Li等超轻元素、不能分析同位素、检出限高、空间分辨率低等不足。FIB-TOF-SIMS技术与能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，简称EDS）和波谱仪（Wavelength Dispersive Spectrometer，简称WDS）分析的性能对比见表1。